Natürlich lebt "Anakin Skywalker" als Machtgeist weiter, will ich auch gar nicht bestreiten. Am Ende von Teil 6 war er ja nicht mehr Darth Vader sondern wurde zu dem Vater von Luke (Shuttle Rampe im Todesstern). Dennoch nimmt man die Form als Geist an, in de man stirbt. Wenn man jetzt allso alle "dunkle Energie whatever" sowie die Maschine von Darth Vader wegnimmt bleibt ein (im Geiste) unversehrter Körper übrig - wie es eben in Episode 6 dargestellt war. Sonst könnte man ja genausogut die Form von Ewan Mc Gregor anstelle von Alec Guinnes nehmen, da es keine Rolle spielt. Das meinte ich mit logischer Bruch.
Btw.: Alle von dir aufgezählten Persönlichkeiten sind ja auch erst nach Episode 6 erfunden worden.
Edit: Anakin im Laufe der Zeit (natürlicher Alterungsprozess ohne Beachtung der schweren Verletzungen und des Daseins in einem Überlebensanzug (Maske / Helm)
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